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载带静电的损害

2022-12-23 08:54:42

静电是一种电能,它存留于物体表面,是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果,是通过电子或离子的转换而构成的。 静电现象是电荷在发生和消失过程中发生的电现象的总称。如冲突起电、人体起电等现象。 跟着科技发展,静电现象已在静电喷涂、静电纺织、静电分选、静电成像等范畴得到广泛的有用应用。但在另一方面,静电的发生在许多范畴会带来严重损害和损失。例如在阿波罗载人宇宙飞船中,因为静电放电导致爆破,使三名宇航员丧生;在火药制作过程中因为静电放电(ESD),造成爆破伤亡的事端时有发生。 

在电子工业中,跟着集成度越来越高,集成电路的内绝缘层越来越薄,互连导线宽度与距离越来越小,例如CMOS器件绝缘层的典型厚度约为0.1μm,其相应耐击穿电压在80-100V;VMOS器件的绝缘层更薄,击穿电压在30V。而在电子产品制作中以及运送、存储等过程中所发生的静电电压远远超越MOS器件的击穿电压,往往会使器件发僵硬击穿或软击穿(器件局部损伤)现象,使其失效或严重影响产品的可靠性。 为了控制和消除ESD,美国、西欧和日本等发达国家均制定了国家、军用和企业规范或规则。从静电敏感元器件的设计、制作、购买、入库、检验、仓储、装配、调试、半成品与成品的包装、运送等均有相应规则,对静电防护器件的制作使用和办理也有较严厉的规章制度要求。我国也参照国际规范制定了军用和企业规范。例如有航天部、机电部、石油部等规范。

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